促动装置和使用了该促动装置的液体喷射头

摘要

一种促动装置及液体喷射头，具备对在向两电极施加电压时产生的应力具有高强度的压电体层。压电体层(70)具备：由相对于下电极的平坦部表面在直角方向上延伸的柱状晶体(710)构成的第一压电体层(71)、由相对于基板(流路形成基板(10))表面在直角方向上延伸的柱状晶体(720)构成的第二压电体层(72)、位于第一和第二压电体层间且由在倾斜部上形成的柱状晶体(730)构成的第三压电体层(73)，第三压电体层的柱状晶体相对于倾斜部表面在直角方向上延伸，且随着朝上电极侧按照相对于基板的表面在直角方向上延伸的方式屈曲而形成，压电体层的在上电极侧的面的第三压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度比第一及第二压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度大。

主权项

一种促动装置，其具备压电元件，该压电元件由设置在基板上的下电极、压电体层和上电极构成，所述下电极具有：中央部平坦的平坦部、和端部向所述基板面倾斜的倾斜部，所述压电体层设置在所述下电极上和所述基板上，所述压电体层具备：第一压电体层，其形成在所述下电极的平坦部的表面上，由按照相对于所述下电极的平坦部的表面在直角方向上延伸的方式形成的多个柱状晶体构成；第二压电体层，其形成在所述基板的表面上，由按照相对于所述基板的表面在直角方向上延伸的方式形成的多个柱状晶体构成；和第三压电体层，其位于所述第一压电体层和所述第二压电体层之间，由在所述倾斜部上形成的多个柱状晶体构成；所述第三压电体层的柱状晶体形成为：相对于所述倾斜部表面在直角方向上延伸，且随着朝向所述上电极侧而按照相对于所述基板的表面在直角方向上延伸的方式弯曲，并且，所述压电体层的在所述上电极侧的面的所述第三压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度，形成为比所述第一以及第二压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度大。