喷液头、喷液装置以及致动器

摘要

本发明涉及喷液头、喷液装置以及致动器，能够对起因于中空部的端部处的应力集中的压电元件的损坏进行抑制，构成为：在对向于压电元件(300)的区域，设置有去除了被覆膜(100)及第2电极(80)的一部分的中空部(101)，形成中空部(101)的被覆膜(100)的端面相对于流路形成基板(10)的倾斜角度θ1与形成中空部(101)的第2电极(80)的端面的倾斜角度θ2满足θ2＜θ1的关系。

主权项

一种喷液头，其特征在于：具备形成有连通于喷嘴的压力产生室的流路形成基板、压电元件和覆盖前述压电元件所设置的被覆膜，其中，前述压电元件包括：形成于该流路形成基板的上部的第1电极、形成于该第1电极的上部的压电体层和形成于该压电体层的上部的第2电极，并且该喷液头在与前述压电元件对向的区域，设置有去除了前述被覆膜及前述第2电极的一部分的中空部，形成前述中空部的前述被覆膜的端面相对于前述流路形成基板的倾斜角度θ1与形成前述中空部的前述第2电极的端面的倾斜角度θ2满足θ2＜θ1的关系。