发明名称
摘要
申请公布号 JP4550182(B2) 申请公布日期 2010.09.22
申请号 JP19990139555 申请日期 1999.05.20
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/423 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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