曝光装置

摘要

本发明提供一种曝光装置，即使工件从工件搬运机构落下，也不会损伤工件本身或工件台的部件，并且，与现有技术相比，生产节拍不变长。本发明的曝光装置，将通过机械手所搬运的工件载置在工件台，对载置在该工件台的工件通过掩模来照射光，在上述工件上对形成在上述掩模的图案进行曝光，在机械手搬运工件的区域，即从机械手搬运工件的搬运高度(搬运位级)至工件台的吸附平台表面高度之间的空间，铺设横穿工件台的缆线。

主权项

一种曝光装置，将通过机械手所搬运的工件载置于工件台，对载置于该工件台的工件通过掩模来照射光，在上述工件上对形成于上述掩模的图案进行曝光，其特征在于：在机械手搬运工件的区域，即从机械手搬运工件的搬运高度至工件台的表面高度之间的空间，横穿上述工件台铺设有缆线。