METHOD OF, AND APPARATUS FOR, SEPARATING WAFERS FROM A WAFER STACK,申请号EP20080858959-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF, AND APPARATUS FOR, SEPARATING WAFERS FROM A WAFER STACK
摘要
申请公布号	EP2229265(A1)	申请公布日期	2010.09.22
申请号	EP20080858959	申请日期	2008.12.11
申请人	GEBR. SCHMID GMBH & CO.	发明人	HUBER, REINHARD
分类号	B28D5/00;B65G59/04	主分类号	B28D5/00
代理机构		代理人
主权项
地址