一种卧式高温真空镀膜生产线

摘要

一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、真空缓冲箱体和真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，所述真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述真空缓冲箱体分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。本发明结构合理、玻璃传送平稳、耐高温、适用于大尺寸玻璃表面高温真空镀膜，可工业化生产，替代现有立式真空镀膜生产线，实现大尺寸玻璃高温真空镀膜。

主权项

一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、四个真空缓冲箱体和至少一个真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，其特征在于：所述至少一个真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述四个真空缓冲箱体分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。