基板分类方法

摘要

本发明涉及基板分类方法。本发明提供一种即使在分类的基板的种类的数目比分类口的数目更多的场合，也能不降低效率地进行分类，并且，即使在某个分类口的盒装满的时候，也不必停止基板从搬入口的流动的基板分类方法。用于基板分类方法的基板分类装置具备：暂时保持收容在设置于搬入口的盒的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在搬入侧缓冲装置的基板一片片搬送到分类口的某一个的搬送装置；以及设置于各分类口、暂时保持被搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置。在此，搬出侧缓冲装置之中的至少一台是随机存取缓冲装置。在上述基板分类方法中，一边在随机存取缓冲装置中保持多种基板，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒。

主权项

一种基板分类方法，其特征在于，使用基板分类装置，该基板分类装置是将以水平重叠状态收容在搬入盒中、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类，搬送到与各种类对应的多个分类口，并搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置具备：设置于上述搬入口、暂时保持收容在上述搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在上述搬入侧缓冲装置中的基板一片片搬送到上述分类口的某一个的搬送装置；以及设置于上述各分类口、暂时保持利用上述搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置；上述搬出侧缓冲装置之中的至少一台是可把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置；该基板分类方法使用上述基板分类装置，将多种基板一边保持在上述随机存取缓冲装置，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒中。