太阳能硅电池纳秒脉冲绿激光划片装置

摘要

本发明公开了一种太阳能硅电池纳秒脉冲绿激光划片装置。它包括激光部件和其光路(3)上的二维电移台(1)，以及水冷却部件(13)、激光电源(14)和整机控制部件(15)，激光部件包含振荡回路上置有的全反腔片、调Q器、激光棒(9)和输出腔片，特别是输出腔片为高斯镜(6)，全反腔片为与高斯镜(6)互补的凹面镜(11)；高斯镜(6)与二维电移台(1)间的光路(3)上置有其非通光面上附有半导体冷却器的两倍频晶体(5)；调Q器为由振荡回路上串接的起偏器(101)、第一调Q晶体(102)、第二调Q晶体(103)和1/4波片(104)组成的电光调Q器(10)。它的划缝宽度为50μm、精度为10μm，划片速度和深度增加50％，提高了划片效率和降低了生产成本。

主权项

一种太阳能硅电池纳秒脉冲绿激光划片装置，包括激光部件和其输出光路(3)上的二维电移台(1)，以及水冷却部件(13)、激光电源(14)和整机控制部件(15)，所述激光部件包含激光振荡回路上依次置有的全反腔片、调Q器、激光棒(9)和输出腔片，所述激光棒(9)与水冷却部件(13)相连接，且其外罩有聚光腔，所述整机控制部件(15)分别与二维电移台(1)、激光电源(14)和调Q器电连接，其特征在于：所述输出腔片为高斯镜(6)，所述全反腔片为与高斯镜(6)互补的凹面镜(11)；所述高斯镜(6)与二维电移台(1)间的光路(3)上置有两倍频晶体(5)，所述两倍频晶体(5)的非通光面上置有半导体冷却器；所述调Q器为电光调Q器(10)，所述电光调Q器(10)由激光振荡回路上串接的起偏器(101)、第一调Q晶体(102)、第二调Q晶体(103)和1/4波片(104)组成，所述第一调Q晶体(102)和第二调Q晶体(103)的垂直于激光振荡回路的两端面上镀有波长为1064nm的增透膜、平行于激光振荡回路的两侧面上置有重复频率为500～1000Hz的脉冲电压，所述脉冲电压的输入端与所述整机控制部件(15)的输出端电连接。