发明名称 振膜及应用该振膜的硅电容麦克风
摘要 本发明提供了一种振膜,该振膜包括振动部、自振动部外周突出的若干支撑部和分离部,该分离部设置在相邻的支撑部之间,分离部与支撑部之间设有第一缝隙,分离部与振动部之间设有第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙连通,所述支撑部包括至少两个悬臂,悬臂之间有第三缝隙。提高了麦克风的信噪比、灵敏度和可靠性。
申请公布号 CN101841756A 申请公布日期 2010.09.22
申请号 CN201010137951.5 申请日期 2010.03.29
申请人 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 发明人 杨斌;张睿
分类号 H04R7/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I 主分类号 H04R7/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种振膜,该振膜包括振动部、自振动部外周突出的若干支撑部和分离部,该分离部设置在相邻的支撑部之间,分离部与支撑部之间设有第一缝隙,分离部与振动部之间设有第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙连通,其特征在于:所述支撑部包括至少两个悬臂,悬臂之间有第三缝隙。
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