发明名称 |
振膜及应用该振膜的硅电容麦克风 |
摘要 |
本发明提供了一种振膜,该振膜包括振动部、自振动部外周突出的若干支撑部和分离部,该分离部设置在相邻的支撑部之间,分离部与支撑部之间设有第一缝隙,分离部与振动部之间设有第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙连通,所述支撑部包括至少两个悬臂,悬臂之间有第三缝隙。提高了麦克风的信噪比、灵敏度和可靠性。 |
申请公布号 |
CN101841756A |
申请公布日期 |
2010.09.22 |
申请号 |
CN201010137951.5 |
申请日期 |
2010.03.29 |
申请人 |
瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司 |
发明人 |
杨斌;张睿 |
分类号 |
H04R7/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I |
主分类号 |
H04R7/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种振膜,该振膜包括振动部、自振动部外周突出的若干支撑部和分离部,该分离部设置在相邻的支撑部之间,分离部与支撑部之间设有第一缝隙,分离部与振动部之间设有第二缝隙,第一缝隙与第二缝隙连通,其特征在于:所述支撑部包括至少两个悬臂,悬臂之间有第三缝隙。 |
地址 |
518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号 |