发明名称 一种薄膜太阳电池及其制造方法
摘要 本发明公开了一种薄膜太阳电池及其制造方法。该薄膜太阳电池从下到上依次由玻璃基底、钼背电极、铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4,CZTS)光吸收层、硫化锌(ZnS)缓冲层、氧化锌铝(ZAO)窗口层和镍铝顶电极构成。本发明避免了稀贵金属和有毒元素的使用,又实现了CZTS薄膜太阳电池的各层薄膜的真空沉积,同时具有结构及制造工艺简单、光电转化效率高且稳定性良好等优点。
申请公布号 CN101840942A 申请公布日期 2010.09.22
申请号 CN201010176003.2 申请日期 2010.05.19
申请人 深圳丹邦投资集团有限公司 发明人 刘萍
分类号 H01L31/042(2006.01)I;H01L31/0264(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/042(2006.01)I
代理机构 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人 江耀纯
主权项 一种薄膜太阳电池,从下到上依次由玻璃基底、背电极、光吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极构成,其特征在于:电池的背电极为钼薄膜,其厚度为0.3~3μm;所述的缓冲层为硫化锌(ZnS)薄膜,其厚度为20~100nm。
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