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发明名称
METHOD OF SMOOTHING THE OUTLINE OF A USEFUL LAYER OF MATERIAL TRANSFERRED ONTO A SUPPORT SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP1523773(B1)
申请公布日期
2010.09.22
申请号
EP20030763889
申请日期
2003.07.16
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
GHYSELEN, BRUNO
分类号
H01L21/304;H01L21/762
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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