单晶炉同心水冷电极

摘要

本实用新型涉及单晶炉同心水冷电极，包括作为电极的两铜管，其中一根铜管套在另一根铜管上，外铜管和内铜管之间设有绝缘密封套；所述外铜管为两端封闭的双层结构，两层之间形成环状的冷却水通道，在外铜管外壁上设有与冷却水通道连通的进水铜管和出水铜管。本实用新型由于电源的输入和输出管路同心，两根管路产生的磁场也同心，故同心水冷电极能有效的降低两铜管间的自感叠加量，有效抑制电极周围磁场与四周炉体的感应发热，减小能量浪费。同时，由于避免了局部发热现象，炉膛内温场均匀，从而更利于提高晶体质量。

主权项

单晶炉同心水冷电极，包括作为电极的两铜管，其特征在于：其中一根铜管套在另一根铜管上，套在外面的铜管为外铜管，套在里面的铜管为内铜管，外铜管(1)和内铜管(2)之间设有绝缘密封套(3)；所述外铜管(1)为两端封闭的双层结构，两层之间形成环状的冷却水通道(4)，在外铜管(1)外壁上设有与冷却水通道连通的进水铜管(5)和出水铜管(6)。