| 发明名称 | 微机械系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种微机械系统(1)，其包括基板(100)、悬挂装置(130)、基底(140)和微机械传感器(150)，该悬挂装置(130)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，并且，该微机械传感器(150)被设置在该基底(140)上。 | ||
| 申请公布号 | CN101842313A | 申请公布日期 | 2010.09.22 |
| 申请号 | CN200880113985.1 | 申请日期 | 2008.10.01 |
| 申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | T·皮尔克;A·弗兰克;K·克尔 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B81B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 侯鸣慧 |
| 主权项 | 微机械系统(1，2，3，4，5)，包括：基板(100)；悬挂装置(130，1301，1302，1303)，基底(140)，其中，该悬挂装置(130，1301，1302，1303)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，和微机械传感器(150，151，152)，其特征在于，该微机械传感器(150，151，152)被设置在该基底(140)上。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||