圆盘状基板的制造方法

摘要

本发明提供一种圆盘状基板的制造方法，该制造方法降低放置圆盘状基板时产生的损伤等。通过将托架附件(50)装配于托架(30)，从而利用托架附件(50)覆盖托架(30)的表面。然后，经由(通过)托架附件(50)的孔部(54)将工件放置于托架(30)的孔部(34)。进而，在工件的放置结束后，通过将环部(59b)拉起而将托架附件(50)卸下。然后，使上盘移动直到该上盘与工件接触，并使研磨机工作。

主权项

一种圆盘状基板的制造方法，该制造方法将托架载置于上下一对磨削盘中的下磨削盘，将圆盘状基板放置于该托架的开口中，利用这一对磨削盘对该圆盘状基板的表面和背面进行磨削，其特征在于，在所述托架上放置与该托架的所述开口对应地形成有开口且柔软性比该托架的柔软性高的托架附件，并经由该托架附件的开口将所述圆盘状基板放置于该托架的开口中。