一种镀膜机用镀膜夹具

摘要

本实用新型涉及一种镀膜机用镀膜夹具。传统的镀膜机中，所沉积的薄膜均匀性差，成膜的质量不理想。本实用新型的一种镀膜机用镀膜夹具，包括设置于公转轴上的公转盘、公转盘上均布设置的多组自转组件，所述每个自转组件均包括固定齿轮、自转齿轮、支撑管、自转轴、自转盘齿、锥齿轮、工件架和自转盘，固定齿轮与公转盘和自转齿轮啮合联接；自转齿轮的下部通过自转轴与自转盘固定联接；自转轴支撑管转动连接；支撑管固联在公转盘上，自转盘齿和支撑管固联，自转轴下端和自转盘固联；多个锥齿轮设于自转盘的外周，并和自转盘齿啮合。本实用新型具有了公转、自转和本身的回转三个方向的运动，可以满足表面面型复杂的回转零件的膜层的均匀性要求。

主权项

一种镀膜机用镀膜夹具，包括设置于公转轴上的公转盘(1)、其特征在于：还包括工转盘(1)上均布设置的多组自转组件，所述每个自转组件均包括固定齿轮(2)、自转齿轮(3)、支撑管(4)、自转轴(5)、自转盘齿(6)、锥齿轮(7)、工件架(8)和自转盘(9)，所述固定齿轮(2)为圆形，其与公转盘(1)同轴设置且和自转齿轮(3)啮合联接；自转齿轮(3)的下部通过穿设于公转盘(1)上的自转轴(5)与自转盘(9)固定联接；自转轴(5)通过止推轴承(10)和支撑管(4)转动连接；支撑管(4)固联在公转盘(1)上，自转盘齿(6)和支撑管(4)固联，自转轴(5)下端和自转盘(9)固联；多个锥齿轮(7)通过轴承均设于自转盘(9)的外周，并和自转盘齿(6)啮合，锥齿轮(7)和工件架(8)固联。