氟代烃浓度的测定方法、测定装置和全氟化碳的制造方法

摘要

在一种制造卤素化合物或全氟化碳化合物的设备中，为了将卤素气体和/或氟代烃气体浓度控制在设定在范围内，提供卤素气体和/或氟代烃气体的管理上需要的迅速、容易且精度高的测定方法，加之结构小型化、另外零件交换迅速、容易的测定装置和使用它的制造卤素化合物或全氟化碳化合物的方法。

主权项

一种氟代烃浓度的测定方法，其特征在于使用红外分光法测定在混合气体中所含的至少一种氟代烃的浓度，上述氟代烃为三氟甲烷、1，1，1，2-四氟乙烷和/或五氟乙烷，作为测定波数分别使用2900～3100cm-1范围的波数来测定浓度，并且气体浓度测定后，将排出气体导入加热的测定盒中，除去测定盒表面的氟化氢。