具有改进的接地结构的射频装置

摘要

本发明公开了一种可调谐射频装置，比如移相器和滤波器，是通过在衬底上沉积薄膜层并使用各种光刻技术来对这些薄膜层构图来形成的。一层金属薄膜层被构图来形成多个电容器和电感器，并留下至少两个紧临这些电容器和电感器的接地区。由于这些接地区的构图部分彼此电气绝缘，因此通过电气地桥接这些具有电位差的接地区，可以提高装置的性能。

主权项

一种由多层薄膜形成的射频装置，该射频装置包含多个电容器、多个电感器和至少一条信号线和至少两个接地区，所述至少两个接地区的每一个位于距离所述多个电容器和电感器足够近的位置，以便在射频频谱内相互作用，形成所述至少两个接地区，使得所述至少两个接地区彼此电气绝缘，或者沿同一地具有射频电位差，以及在改进中，形成导电材料桥路，以便电气连接所述至少两个接地区，或者使同一接地区的射频电位一致。