| 发明名称 |
Microwave plasma exciters |
| 摘要 |
The invention relates to a microwave plasma exciter device which includes a waveguide (23) for concentrating the microwaves; and a plasma generator (110, 120) for forming a plasma, which are disposed in a microwave concentration zone.
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| 申请公布号 |
US7799119(B2) |
申请公布日期 |
2010.09.21 |
| 申请号 |
US20070766875 |
申请日期 |
2007.06.22 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
ZAKRZEWSKI ZENON;CZYLKOWSKI DARIUSZ;JASINSKI MARIUSZ;MOISAN MICHEL;GUERIN DANIEL;LARQUET CHRISTIAN;ROSTAING JEAN-CHRISTOPHE |
| 分类号 |
B03C3/016 |
主分类号 |
B03C3/016 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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