摘要 |
Устройство для получения многослойных нанокристаллических материалов, включающее кварцевый реактор с подложками, нагреватель для нагрева подложек, две изолированные друг от друга кюветы для растворов смесей солей металлов, отличающееся тем, что каждая из двух изолированных друг от друга кювет снабжена ультразвуковым генератором, на входе устройство снабжено компрессором и магнитным клапаном для регулировки избыточного давления в реакторе, к подложке подсоединен через шток электродвигатель, на выходе устройство снабжено нейтрализатором остаточных газов, кварцевый реактор выполнен в виде трубы, по обе стороны которой размещены металлические втулки. |