发明名称 SPUTTER COATING DEVICE AND COATING METHOD
摘要
申请公布号 KR20100102101(A) 申请公布日期 2010.09.20
申请号 KR20107011530 申请日期 2008.07.04
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MOELLE CHRISTOPH;LOPP ANDREAS;KLOEPPEL ANDREAS;STOLLEY TOBIAS;LINDENBERG RALPH;BENDER MARCUS
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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