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发明名称 SUSCEPTOR FOR EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 KR20100102131(A) 申请公布日期 2010.09.20
申请号 KR20107013934 申请日期 2008.12.05
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 OHNISHI MASATO
分类号 H01L21/20;H01L21/683 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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