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发明名称 SPUTTERING FILM FORMING METHOD AND SPUTTERING FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20100102097(A) 申请公布日期 2010.09.20
申请号 KR20107010695 申请日期 2009.01.21
申请人 ULVAC, INC. 发明人 NAKAMURA HAJIME;SHINDOU TAKAAKI;MATSUDA MAYAKO;ISHINO KOJI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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