| 发明名称 |
SLIDE STAGE, AND SLIDE STAGE MOVABLE IN X- AND Y-DIRECTIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100101603(A) |
申请公布日期 |
2010.09.17 |
| 申请号 |
KR20107013281 |
申请日期 |
2008.10.29 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI |
发明人 |
KOIKE HARUHIKO;KAKU YASUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/68;B23Q1/26;B23Q1/28;B23Q5/28 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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