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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING MAGNETIC DEVICE
摘要
申请公布号 KR20100101514(A) 申请公布日期 2010.09.17
申请号 KR20097015935 申请日期 2009.03.02
申请人 CANON ANELVA CORPORATION 发明人 HOSOYA HIROYUKI;TSUNEKAWA KOJI;NAGAMINE YOSHINORI
分类号 C23C14/34;H01L21/203 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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