发明名称 |
Vorrichtung zum Testen von elektronischen Bauelementen, insbesondere IC's, mit innerhalb einer Drucktestkammer angeordnetem Abdichtboard |
摘要 |
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申请公布号 |
DE102007032557(B4) |
申请公布日期 |
2010.09.16 |
申请号 |
DE200710032557 |
申请日期 |
2007.07.12 |
申请人 |
MULTITEST ELEKTRONISCHE SYSTEME GMBH |
发明人 |
SCHAULE, MAX;KURZ, STEFAN;NAGY, ANDREAS |
分类号 |
G01R31/28;G01L27/00;G01N3/12;G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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