发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkristalls
摘要
申请公布号 DE102006035377(B4) 申请公布日期 2010.09.16
申请号 DE200610035377 申请日期 2006.10.30
申请人 TOYODA GOSEI CO. LTD.;NGK INSULATORS LTD.;OSAKA UNIVERSITY 发明人 YAMAZAKI, SHIRO;HIRATA, KOJI;IMAI, KATSUHIRO;IWAI, MAKOTO;SASAKI, TAKATOMO;MORI, YUSUKE;YOSHIMURA, MASASHI;KAWAMURA, FUMIO;YAMADA, YUJI
分类号 C30B9/00;C30B9/10;C30B29/38;C30B29/40;H01L21/208;H01L33/00 主分类号 C30B9/00
代理机构 代理人
主权项
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