| 发明名称 |
Verfahren zur Verminderung spannungsverursachter mechanischer Probleme in dünnen optischen Schichten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60237189(D1) |
申请公布日期 |
2010.09.16 |
| 申请号 |
DE20026037189 |
申请日期 |
2002.10.11 |
| 申请人 |
DALSA SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
OUELLET, LUC;LACHANCE, JONATHAN |
| 分类号 |
G02B6/12;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/56;G02B6/124;G02B6/13;G02B6/136;H01L21/20 |
主分类号 |
G02B6/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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