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发明名称
ELEKTRISCH ENTKOPPELTER MIKROGEFERTIGTER KREISEL
摘要
申请公布号
DE60044782(D1)
申请公布日期
2010.09.16
申请号
DE20006044782
申请日期
2000.09.13
申请人
KIONIX INC.;MILLISENSOR SYSTEMS AND ACTUATORS INC.
发明人
ADAMS, SCOTT G.;GROVES, JAMES;CARDARELLI, DONATO;CARROLL, RAYMOND;DAUWALTER, CHARLES R.
分类号
G01C19/56;H01L29/84
主分类号
G01C19/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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