发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Teilchenstrahlquelle
摘要
申请公布号 DE102007010462(B4) 申请公布日期 2010.09.16
申请号 DE200710010462 申请日期 2007.03.01
申请人 SELLMAIR, JOSEF 发明人 SELLMAIR, JOSEF
分类号 B81C1/00;H01J1/304;H01J9/02;H01J37/073 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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