| 发明名称 | 基板输送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供基板输送装置，该基板输送装置(1)包括：输送基板(100)的输送装置(10)；一对旋转刷辊(21、31)，隔着由输送装置(10)所输送的基板(100)地上下配置，且沿与基板(100)的输送方向(A)交叉的方向分别延伸。输送装置(10)包括：用于输送基板(100)的第1输送装置(11)，其配置在一对旋转刷辊(21、31)的上游侧；用于输送基板(100)的第2输送装置(12)，其配置在一对旋转刷辊(21、31)的下游侧。第1输送装置(11)和第2输送装置(12)隔有供一对旋转刷辊(21、31)能够与基板(100)接触的间隙(13)地配置。 | ||
| 申请公布号 | CN101829660A | 申请公布日期 | 2010.09.15 |
| 申请号 | CN201010132185.3 | 申请日期 | 2010.03.09 |
| 申请人 | 株式会社长冈制作所 | 发明人 | 柳泽聪一 |
| 分类号 | B08B1/04(2006.01)I;B08B7/04(2006.01)I;H05K3/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B1/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;张会华 |
| 主权项 | 一种基板输送装置，该基板输送装置是具有从所输送的基板(100)的表面(100a、100b)去除灰尘的功能的装置(1)，其中，该基板输送装置(1)包括：输送装置(10)，输送上述基板(100)；一对旋转刷辊(21、31)，隔着由上述输送装置(10)所输送的上述基板(100)地上下配置，且分别沿与上述基板(100)的输送方向(A)交叉的方向延伸，上述输送装置(10)包括：第1输送装置(11)，其用于输送上述基板(100)，且配置在上述一对旋转刷辊(21、31)的上述基板(100)输送方向(A)的上游侧；第2输送装置(12)，其用于输送上述基板(100)，且配置在上述一对旋转刷辊(21、31)的上述基板(100)输送方向(A)的下游侧，上述第1输送装置(11)和上述第2输送装置(12)隔有供上述一对旋转刷辊(21、31)能够与上述基板(100)接触的间隙(13)地配置。 | ||
| 地址 | 日本长野县 | ||