预烧装置

摘要

作为本发明的预烧装置，在安装有多个DUT的预烧板被收纳在预烧腔内后，使温度调整板下降移动，使被安装在该温度调整板上的温度调整阵列与对应的DUT接触而进行预烧试验；其中，具备：推拉装置，具有在预烧板的板面水平方向上进退移动的移动体；凸轮机构，由倾斜凸轮以及凸轮随动件构成，将该移动体的进退移动变换为升降移动而使升降板升降。根据该预烧装置，由于能够将用于使温度调整板升降的推拉装置小型化，故而能够提供更小型的预烧装置。

主权项

一种预烧装置，所述预烧装置具备：预烧腔，该预烧腔收纳有若干个安装了多个被试验电子部件的预烧板；检测器，该检测器进行所述预烧板的位置检测；温度调整板，该温度调整板在上下方向上自由升降；以及多个温度调整阵列，该多个温度调整阵列安装在所述温度调整板上；在所述预烧腔内收纳所述预烧板之后，利用所述检测器检测所述预烧腔位于规定位置，之后，使所述温度调整板移动而使所述温度调整阵列与被试验电子部件接触；其特征在于，以与被收纳在所述预烧腔中的各预烧板一一对应的方式设置所述检测器，对于各预烧板，分别以单独的检测器进行位置检测。