激光刻线除尘设备及除尘方法

摘要

本发明公开一种激光刻线除尘设备，包括加工单元、吸尘装置、第一过滤单元、高压抽风机及若干个静电除尘棒，所述加工单元包括内腔及工作台，所述工作台置于所述内腔内，所述吸尘装置具有吸尘口及出尘口，所述吸尘口位于所述工作台的正下方，所述吸尘装置的出尘口与所述第一过滤单元的上端相连通，所述第一过滤单元的下端与所述高压抽风机的抽风口相连通，所述第一过滤单元的上端与下端之间设置有第一过滤网芯，所述高压抽风机的出风口与所述内腔相连通，所述静电除尘棒均匀排列的设置于所述激光发生器上。本发明激光刻线除尘设备除尘效率高、噪声低且能耗少。本发明还公开了一种激光刻线除尘方法。

主权项

一种激光刻线除尘设备，适用于激光发生器对非晶硅太阳能玻璃基板刻线时进行除尘，其特征在于：所述激光刻线除尘设备包括加工单元、吸尘装置、第一过滤单元、高压抽风机及若干个静电除尘棒，所述加工单元包括内腔及工作台，所述工作台及激光发生器均置于所述内腔内，所述非晶硅太阳能玻璃基板承载于所述工作台的下表面上，所述激光发生器置于所述工作台的上方，所述吸尘装置具有吸尘口及出尘口，所述吸尘口位于所述工作台的正下方，所述吸尘装置的出尘口与所述第一过滤单元的上端相连通，所述第一过滤单元的下端与所述高压抽风机的抽风口相连通，所述第一过滤单元的上端与下端之间设置有第一过滤网芯，所述高压抽风机的出风口与所述内腔相连通，所述静电除尘棒均匀排列的设置于所述激光发生器上。