发明名称 膜片式光纤压强传感器
摘要 一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为光纤压强传感器的主体,该支撑筒为一筒状,其下端侧壁的同轴处开有一圆孔;一膜片,该膜片位于支撑筒的底部,以封闭支撑筒的下端;一光纤光栅,该光纤光栅固定在膜片的上面,该光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的圆孔;一端盖,该端盖盖合于支撑筒的上面;一温度补偿光纤光栅,该温度补偿光纤光栅固定在端盖的下面,该温度补偿光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的一圆孔。
申请公布号 CN101206149B 申请公布日期 2010.09.15
申请号 CN200610165531.1 申请日期 2006.12.21
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 张文涛;李芳;刘育梁
分类号 G01L1/24(2006.01)I;G01L11/02(2006.01)I;G01L19/00(2006.01)I 主分类号 G01L1/24(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为光纤压强传感器的主体,该支撑筒为一筒状,其下端侧壁的同轴处开有一圆孔;一膜片,该膜片位于支撑筒的底部,以封闭支撑筒的下端,该膜片的上面固定有第一凸台和第二凸台;一光纤光栅,该光纤光栅的两端粘接固定于膜片上的第一凸台和第二凸台之上,该光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的圆孔;一端盖,该端盖盖合于支撑筒的上面;一温度补偿光纤光栅,该温度补偿光纤光栅固定在端盖的下面,该温度补偿光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的一圆孔。
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号