发明名称 |
膜片式光纤压强传感器 |
摘要 |
一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为光纤压强传感器的主体,该支撑筒为一筒状,其下端侧壁的同轴处开有一圆孔;一膜片,该膜片位于支撑筒的底部,以封闭支撑筒的下端;一光纤光栅,该光纤光栅固定在膜片的上面,该光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的圆孔;一端盖,该端盖盖合于支撑筒的上面;一温度补偿光纤光栅,该温度补偿光纤光栅固定在端盖的下面,该温度补偿光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的一圆孔。 |
申请公布号 |
CN101206149B |
申请公布日期 |
2010.09.15 |
申请号 |
CN200610165531.1 |
申请日期 |
2006.12.21 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
张文涛;李芳;刘育梁 |
分类号 |
G01L1/24(2006.01)I;G01L11/02(2006.01)I;G01L19/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01L1/24(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为光纤压强传感器的主体,该支撑筒为一筒状,其下端侧壁的同轴处开有一圆孔;一膜片,该膜片位于支撑筒的底部,以封闭支撑筒的下端,该膜片的上面固定有第一凸台和第二凸台;一光纤光栅,该光纤光栅的两端粘接固定于膜片上的第一凸台和第二凸台之上,该光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的圆孔;一端盖,该端盖盖合于支撑筒的上面;一温度补偿光纤光栅,该温度补偿光纤光栅固定在端盖的下面,该温度补偿光纤光栅的尾纤穿过支撑筒侧壁上的一圆孔。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |