发明名称 |
酸性条件下基于化学水浴法制备镉锌硫薄膜的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种酸性条件下基于化学水浴法制备镉锌硫(Cd1-xZnxS)薄膜的方法,该方法是在导电玻璃等衬底上,利用镉盐提供镉离子,锌盐提供锌离子,硫代硫酸钠或硫代乙酰胺提供硫离子,尿素作为缓冲剂,在衬底表面沉积形成Cd1-xZnxS薄膜。按化学计量比称取上述反应化学物质并溶于一定体积的去离子水,采用稀盐酸调节溶液pH值范围在3.5~5.5。反应溶液放置于密封的玻璃器皿中,并在带磁力搅拌器的水浴锅中缓慢加热至目标温度。本发明所制备的Cd1-xZnxS薄膜致密均匀,具有良好的表面形貌及光学性能。当镉盐采用醋酸镉时可在常温下制备高质量的Cd1-xZnxS薄膜。 |
申请公布号 |
CN101834232A |
申请公布日期 |
2010.09.15 |
申请号 |
CN201010177408.8 |
申请日期 |
2010.05.14 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所 |
发明人 |
曹萌;孙艳;吴杰;陈鑫;戴宁 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0232(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
一种酸性条件下基于化学水浴法制备镉锌硫薄膜的方法,其特征在于:它包括如下步骤:1).衬底的清洗衬底依次在丙酮,酒精,去离子水中超声20分钟,氮气吹干,然后置于90℃的干燥箱中保存;2).反应溶液的配置按化学计量比称取一定质量的镉盐,锌盐,硫源以及缓冲剂,溶于一定体积去离子水,并用稀释的酸溶液调节PH值;3).化学水浴沉积过程反应溶液放置于密闭容器,在水浴锅中缓慢加热至目标温度,沉积一定时间,沉积过程中对反应溶液作适当搅拌,并偶尔震动衬底;4).沉积薄膜的清洗沉积所得的薄膜在去离子水中超声,去掉薄膜表面的大颗粒,氮气吹干备用; |
地址 |
200083 上海市玉田路500号 |