一种显示器减反射屏及其制备方法

摘要

本发明公开了一种显示器减反射屏及其制备方法。减反射屏基材双面均从靠基材(1)表面开始，设置有二氧化钛膜层(2)、二氧化硅膜层(3)、二氧化钛膜层(4)及二氧化硅膜层(5)组成的AR减反射复合膜系；制备方法包括：减反射屏基材(1)表面处理，电子枪分别蒸发二氧化钛、二氧化硅，在基材表面依次镀覆二氧化钛膜层(2)、二氧化硅膜层(3)、二氧化钛膜层(4)和二氧化硅膜层(5)，并打开离子源通入氧气辅助，镀完一面自动反转到另外一面，重复上述镀膜过程，采用上述技术方案，克服了水解法制备AR减反射膜放气严重和有机物的污染等缺陷，制备的AR减反射膜透过率达到98％以上，反射率小于0.5％，提高了显示器的质量。

主权项

一种显示器减反射屏的制备方法，其特征在于：反射屏基材(1)表面处理干净并干燥后对其表面进行活化处理，真空度为4×10-5～5×10-5torr蒸发二氧化钛，首先在减反射屏基材(1)表面沉积一层二氧化钛膜层(2)，蒸发二氧化硅，在第一层二氧化钛膜层(2)上沉积第二层二氧化硅膜层(3)，同样的条件再沉积第三层二氧化钛膜层(4)和第四层二氧化硅膜层(5)；反射屏基材为PC/PMMA；所述的基材(1)表面活化处理，采用离子源通入氧气，氧气流量为10～30sccm；所述的各膜层沉积的同时打开离子源通入氧气辅助，氧气流量为8～20sccm；所述的减反射屏基材(1)表面是采用-100～-120℃深冷低温干燥的；且在深冷处理后的基材不做回火处理，而是在60～80℃的环境中直接进行真空镀膜。