发明名称
摘要
申请公布号 JP4546303(B2) 申请公布日期 2010.09.15
申请号 JP20050086627 申请日期 2005.03.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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