发明名称 一种自定心装置
摘要 本发明提供一种自定心装置,包括手轮、螺母I、顶盖、凸轮I、滚柱、柔性膨胀环、圆盘、螺纹定位销I、弹性套筒、盘体、轴承、螺纹定位销II、传力盘、螺母II、凸轮II、导杆和下端盖;凸轮I和凸轮II可以导杆实现同步旋转,凸轮I带动传力盘向外径向运动,实现和定位基准面的接触,凸轮II通过滚柱使柔性膨胀环向外膨胀,实现和所需定位工件的接触;自定心装置自身无间隙,并且也实现定位过程中的无间隙接触,自定心装置自身精度可以根据要求调整,因此可以实现对工件较高精度级别的位置定位。
申请公布号 CN101320217B 申请公布日期 2010.09.15
申请号 CN200810040330.8 申请日期 2008.07.08
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 吴荣基;朱岳彬;陈慧
分类号 G03F7/20(2006.01)I;B27C7/04(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 王洁
主权项 一种自定心装置,包括:手轮(2)、螺母I(3)、顶盖(6)、凸轮I(7)、滚柱(8)、柔性膨胀环(9)、圆盘(11)、螺纹定位销I(10)、弹性套筒(12)、盘体(13)、轴承(14)、螺纹定位销II(15)、传力盘(16)、螺母II(17)、凸轮II(18)、导杆(19)和下端盖(20),其特征在于,弹性套筒(12)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的中心孔中,弹性套筒(12)带有锥面,其锥面与盘体(13)的锥面捏合; 轴承(14)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的中心孔中,轴承(14)的端面与弹性套筒(12)的端面接触; 螺母II(17)通过螺纹安装到导杆(19)上; 螺纹定位销II(15)通过螺纹安装到盘体(13)的下端面上; 凸轮II(18)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的下端面上,用螺母将凸轮II(18)固定; 传力盘(16)穿过螺纹定位销II(15)安装在盘体(13)的下端面上; 下端盖(20)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的下端面上,用内六角圆柱头螺钉(21)将下端盖(20)固定; 圆盘(11)穿过导杆(19)安装在盘体(13)的上端面上; 螺纹定位销I(10)通过螺纹安装在盘体(13)的上端面上,柔性膨胀环(9)穿过导杆(19)和螺纹定位销I(10)安装在盘体(13)的上端面上,凸轮I(7)穿过导杆(19)安装在圆盘(11)上; 滚柱(8)安装在凸轮I(7)和柔性膨胀环(9)的间隙中间; 顶盖(6)利用内六角圆柱头螺钉(5)安装在盘体(13)上,螺母I(3)穿过导杆(19)安装在顶盖(6)上,通过定位销(4)实现螺母I(3)和顶盖(6)之间固定; 手轮(2)通过螺母固定安装在导杆(19)上。
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