| 发明名称 |
Optical element module with imaging error correction and position adjustment |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2468557(A) |
申请公布日期 |
2010.09.15 |
| 申请号 |
GB20100001888 |
申请日期 |
2010.02.05 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
BAERBEL SCHWAER;DANIEL BENZ;SASCHA BLEIDISTEL |
| 分类号 |
G02B26/08;G02B1/10;G02B5/08;G02B7/185 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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