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发明名称
摘要
申请公布号 JP4543383(B2) 申请公布日期 2010.09.15
申请号 JP20050039217 申请日期 2005.02.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L21/3205;H01L23/52;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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