发明名称 在SiC衬底上形成的GaN基LED
摘要 本申请公开了一种发光二极管。该二极管包括:具有第一导电类型的碳化硅衬底(21);位于SiC衬底之上的、导电类型与衬底相同的第一氮化镓层(25);在GaN层(27)上的、由选自GaN、InGaN和AlInGaN的多个交替层重复系列形成的超晶格;位于超晶格上、导电类型与第一GaN层相同的第二GaN层(30);第二GaN层上的多量子阱(31);多量子阱上的第三GaN层;位于第三GaN层(32)上、导电类型与衬底和第一GaN层相反的接触结构;对SiC衬底的欧姆接触;和对接触结构的欧姆接触。
申请公布号 CN101834245A 申请公布日期 2010.09.15
申请号 CN201010156574.X 申请日期 2002.06.12
申请人 克里公司 发明人 D·T·埃默森;A·C·阿贝尔;M·J·伯格曼
分类号 H01L33/04(2010.01)I;H01L27/15(2006.01)I;G09F9/33(2006.01)I;F21S2/00(2006.01)I;F21Y101/02(2006.01)N 主分类号 H01L33/04(2010.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 蔡胜有
主权项 一种LED的制造方法,该方法包括:在SiC衬底上生长导电类型与所述衬底相同的第一GaN层;在所述第一GaN层上生长超晶格,该超晶格包括选自GaN、InxGa1-xN其中0<x<1和AlxInyGa1-x-yN其中x+y<1的交替层的多个重复系列;在所述超晶格上生长导电类型与所述第一GaN层相同的第二GaN层;在所述第二GaN层上生长III族氮化物多量子阱;在所述多量子阱上生长第三GaN层;在所述第三GaN层上生长导电类型与所述SiC衬底和所述第一GaN层相反的接触结构;形成对所述SiC衬底的欧姆接触;及形成对所述接触结构的欧姆接触。
地址 美国北卡罗莱纳