电容式感测装置及其制作方法

摘要

本发明有关于一种电容式感测装置及其制作方法，尤指一种可利用CMOS工艺大量制造并借此降低生产成本的电容式感测装置及其制作方法，其主要于一基板上依序设有一定位层、一绝缘层及一金属层，在定位层的预设位置上设有一开口部，金属层设有多个通孔，而定位层及绝缘层间形成两侧凹型态样的空腔部，并将一振膜卡设于空腔部内，以成为一悬浮式振膜，借此，在热胀冷缩时，空腔部内的振膜将可完全形变，以避免内应力的产生，而影响到感测的准确性。

主权项

一种电容式感测装置，其特征在于，其构造包括有：一基板，其上表面设有一定位层，并于预设位置上设有一开口部；一第一绝缘层，设置在该定位层上，该第一绝缘层与该定位层间形成两侧凹型态样的一空腔部，一振膜将卡设在该空腔部内；及一第一金属层，设在该第一绝缘层上方，设有多个通孔，并且该振膜设于该通孔与该开口部间的相对位置上。