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发明名称
摘要
申请公布号
JP4544737(B2)
申请公布日期
2010.09.15
申请号
JP20000396572
申请日期
2000.12.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/8247;H01L29/43;H01L21/28;H01L21/318;H01L21/8242;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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