用在等离子体处理系统中的磁性夹和基片保持器

摘要

用在等离子体处理系统中的磁性夹和基片保持器。本发明涉及一种与基片保持器一起使用以在等离子体处理系统的处理室内保持基片的磁性夹。磁性夹包括各自均具有夹紧表面和磁体的第一本体构件和第二本体构件。第一本体构件构造为与基片保持器机械地连接。第二本体构件通过铰链与第一本体构件枢转地连接，以相对于第一本体构件在关闭位置和打开位置之间移动。在关闭位置中，基片的边缘区域定位在夹紧表面之间。在打开位置中，基片的边缘区域被释放。当第二本体构件处于所述关闭位置时，第二本体构件上的磁体磁性吸引第一本体构件上的磁体，以施加限制基片的边缘区域相对于夹紧表面移动的力。

主权项

一种夹，与基片保持器一起使用以在等离子体处理系统内保持基片的边缘区域，所述夹包括：第一本体构件，所述第一本体构件包括第一夹紧表面和第一磁体，且构造为与基片保持器机械地连接；铰链；和第二本体构件，所述第二本体构件包括第二夹紧表面和第二磁体，且通过所述铰链与所述第一本体构件机械地连接，用于相对于所述第一本体构件在关闭位置和打开位置之间枢转移动，在所述关闭位置中基片的边缘区域以接触关系定位在所述第一夹紧表面和所述第二夹紧表面之间，在所述打开位置中基片的边缘区域被释放，并且所述第二磁体构造为当所述第二本体构件处于所述关闭位置时磁性吸引所述第一磁体，以施加限制基片的边缘区域相对于所述第一夹紧表面和所述第二夹紧表面移动的力。