发明名称 |
Method and device for characterising wafers during manufacture of solar cells |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Charakterisieren von Wafern bei der Herstellung von Solarzellen, mit den Schritten:
a) Bereitstellen eines Wafers und Durchführen eines Herstellungsprozesses mit dem Wafer zum Herstellen einer Solarzelle oder mehrerer Solarzellen;
b) während des Herstellungsprozesses Durchführen eines Nasschemieschrittes mit dem Wafer, wobei der Nasschemieschritt einen Einfluss der Waferoberfläche auf die Lebensdauer von Ladungsträgern in dem Wafer verringert;
c) während des Nasschemieschrittes oder nach dem Nasschemieschritt Bestrahlen des Wafers mit Licht zum Erzeugen Ladungsträger in dem Wafer;
d) Bestimmen der Lebensdauer der in Schritt c) erzeugten Ladungsträger; und
e) Charakterisieren des Wafers anhand der in Schritt d) bestimmten Lebensdauer.</p><p>In einem zweiten Aspekt betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Charakterisieren von Wafern bei der Herstellung von Solarzellen.
</p> |
申请公布号 |
EP1912076(A3) |
申请公布日期 |
2010.09.15 |
申请号 |
EP20070118372 |
申请日期 |
2007.10.12 |
申请人 |
Q-CELLS AG |
发明人 |
DR. MUELLER, JOERG;DR. ISENBERG, JOERG;SUTHUES, JOERN;BIVOUR, MARTIN;RAKOTONIAINA, JEAN PATRICE |
分类号 |
G01R31/26;H01L21/00;H01L31/04;H01L31/18 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|