具有多个异相电极的高频等离子体源

摘要

本发明描述了一种等离子体源，所述源包括由多个电极形成的无功阻抗元件。通过提供这样的多个电极并向彼此异相的相邻电极供电，可改善所产生的等离子体的特性。

主权项

一种等离子体源，包括等离子体激励区域和等离子体激励无功阻抗元件，所述源的特征在于，所述等离子体激励无功阻抗元件包括邻近于所述等离子体激励区域且在所述等离子体激励区域以上提供的多个电极，所述源包括在所述等离子体激励区域以下提供的参考电极，形成所述无功阻抗元件的所述电极耦合到能够在VHF/UHF范围内工作的高频发生器，并且其中，在使用中，在将所述电极耦合到所述发生器时，所述多个电极中的相邻电极彼此异相，使得由第一电极所引入的任何电流基本上被第二电极抵消，从而减小引入到所述等离子体激励区域内的净电流，并且其中所述等离子体源还包括低频发生器，所述无功阻抗元件的电极另外耦合到所述低频发生器，耦合到所述低频发生器的选定数目的所述电极能够在共同模式下工作，而耦合到所述低频发生器的所述电极中选定的其它电极能够在差异模式下工作。