防护薄膜组件收纳容器及其制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种光刻用防护薄膜组件收纳容器，其在保管、输送、操作中能防止所收纳的防护薄膜组件污损并维持品质。本发明的防护薄膜组件收纳容器，是由载置防护薄膜组件的容器本体，以及覆盖、保护防护薄膜组件且与容器本体彼此在周缘部嵌合卡止的盖体所构成，其特征为：预先设计制作成凸出形状，使盖体不会因为本身重量而弯曲附着于防护薄膜上。

主权项

一种防护薄膜组件收纳容器，其由容器本体与合成树脂制的盖体所构成，该容器本体用来载置长边以及短边合计超过1,000mm的防护薄膜组件，该盖体收纳该防护薄膜组件且与该容器本体彼此在周缘部密合，该防护薄膜组件收纳容器的特征为：该盖体的板厚在5mm以下，当位于防护薄膜组件框架内侧的防护薄膜的正上方所区划出来的盖体中央部的宽度为W，而盖体中央部朝上方外侧的最大突出量为Y时，在0.001W≤Y≤0.2W的范围内让盖体朝上方外侧弯曲突出，使盖体中央部在密合状态下维持平坦状或向外凸出形状。