| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON FILMEN ODER SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT480604(T) |
申请公布日期 |
2010.09.15 |
| 申请号 |
AT19990973059T |
申请日期 |
1999.12.01 |
| 申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
KATHIRGAMANATHAN, POOPATHY |
| 分类号 |
C09K11/06;H05B33/10;B05D7/24;C23C14/06;C23C14/12;H01L51/30;H01L51/50;H05B33/14 |
主分类号 |
C09K11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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