溅镀装置

主权项

一种溅镀装置，包括一治具及一模仁，该模仁系一阶梯状的轴，具有一端面及至少一台阶面，其改良在于：该治具包括至少一通孔及一表面，该通孔系一沉孔，该沉孔具有一台阶面，该模仁之台阶面被沉孔之台阶面止挡，该模仁经该通孔可分离地装入治具中时，该模仁的端面与治具的表面平齐。如申请专利范围第1项所述之溅镀装置，其中该溅镀装置进一步包括一陶瓷罩。如申请专利范围第2项所述之溅镀装置，其中该陶瓷罩包括一隔板、至少一开设在隔板上的孔、自该孔边缘径向扩张一段距离之位置向隔板下方延伸而成的管以及自该隔板边缘向隔板下方延伸而成的侧壁。如申请专利范围第3项所述之溅镀装置，其中该孔的直径略小于模仁中部直径而略大于模仁端面的直径。如申请专利范围第3项所述之溅镀装置，其中该管的外直径等于或略小于通孔的直径，管的内直径等于或略大于模仁的中部直径。如申请专利范围第5项所述之溅镀装置，其中该管的长度仅及于治具的台阶面。如申请专利范围第3项所述之溅镀装置，其中该隔板边缘向上延伸形成端缘。如申请专利范围第2项所述之溅镀装置，其中该陶瓷罩系一体成型之壳状结构。