| 主权项 |
一种自动光学检测装置，应用于检测积体电路之表面缺陷，该自动光学检测装置包含：一匣盘传送装置，用以传送承载至少一积体电路之匣盘，该匣盘具有至少一夹持部；一压持机构，用以夹持该夹持部，使该匣盘固定并平贴该匣盘传送装置；以及一影像撷取装置，用以撷取该积体电路表面之一影像，其中藉由分析该影像，可检测该积体电路之表面缺陷。如申请专利范围第1项所述之自动光学检测装置，其中上述之匣盘具有一平面度，该平面度小于0.05 mm。如申请专利范围第1项所述之自动光学检测装置，其中上述之匣盘具有复数之孔洞，用以容置该积体电路，该孔洞之最小长度大于该积体电路最大长度约0.05 mm。如申请专利范围第1项所述之自动光学检测装置，其中上述之影像撷取装置系CCD。如申请专利范围第1项所述之自动光学检测装置，其中上述之匣盘传送装置包含一检测区，该积体电路于该检测区内，由该影像撷取装置进行检测。如申请专利范围第5项所述之自动光学检测装置，更包含一进料匣盘堆叠装置，用以存放该匣盘。如申请专利范围第6项所述之自动光学检测装置，其中上述之匣盘传送装置更包含一缓冲区，该缓冲区设置于该进料匣盘堆叠装置与该检测区之间，该积体电路于该缓冲区内等候进行检测。如申请专利范围第1项所述之自动光学检测装置，其中上述之匣盘传送装置包含一分类区，该分类区具有一拾取头，将通过检测之该积体电路与未通过检测之该积体电路分别置于不同之该匣盘，且该拾取头可藉由一电脑的控制，将承载通过检测之该积体电路的该匣盘补满。如申请专利范围第8项所述之自动光学检测装置，更包含一通过检测匣盘堆叠装置，用以存放该匣盘，其中承载于该匣盘之该积体电路系全部通过检测。如申请专利范围第8项所述之自动光学检测装置，更包含一未通过检测匣盘堆叠装置，用以存放该匣盘，其中承载于该匣盘之该积体电路系全部未通过检测。 |
