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一种高压阀模组，包含一供应歧管组及一输出歧管组：该供应歧管组有一制程气体供应端及一连接于制程气体供应端的纯净氮气供应端；该纯净氮气供应端有一纯净氮气进口阀可隔绝或开启纯净氮气供应端与制程气体供应端之连通；另有一连结端连通制程气体供应端及纯净氮气进口阀可与输出歧管组连结；该输出歧管组有一连结端与供应歧管组之连结端连通；输出歧管组有一高压制程气体隔绝阀、及一高压制程气体排气阀连结于连结端；一气体输出端透过一高压制程气体隔绝阀可隔绝或开启与输出歧管组之连结端之连通，另一高压制程气体排气端透过高压制程气体排气阀可隔绝或开启与输出歧管组之连结端之连通；使用时，一制程气体可经由供应歧管组之制程气体供应端输入，氮气可经由纯净氮气进口阀控制开启与关闭与制程气体供应端输入之制程气体混合；该制程气体或混合气体经由连接端与进入输出歧管组；再透过高压制程气体隔绝阀之开启与关闭可将该制程气体或混合气体透过气体输出端输出供应给连接于气体输出端之管路；该制程气体或混合气体也可透过高压制程气体排气阀之开启而经由高压制程气体排气端排出。如申请专利范围第1项所述之高压阀模组，其中该纯净氮气进口阀、高压制程气体隔绝阀及高压制程气体排气阀为一高压阀所构成；该高压阀有一入口端连接一阀座；阀座与一弯曲膜片之间有一密闭空间，一出口端连接于该空间；一气压控制之预载引动器可将弯曲膜片下压与阀座成气密接触致使入口端与出口端隔绝进而达成高压阀之开启与关闭。如申请专利范围第2项所述之高压阀模组，其中该阀座之材质为PolyChloroTriFluoroEthylene(PCTFE)，可应用于多种特殊气体如腐蚀性气体HCl、HBr、Cl2、BCl3、WF6、SiH2Cl2、NF3、SiF4，毒性或可燃性气体SiH4、TMS、CH3F、Si2H6、GeH4、PH3，或惰性气体N2、O2、Ar、CHF3、C2F6、N2O、CF4、C4F8。如申请专利范围第2项所述之高压阀模组，其中阀座与弯曲膜片之间有一密闭空间可使流量系数增加而应用于多种制程气体。 |
